薄膜沉積系統

薄膜沉積系統是一種用於機械工程領域的工藝試驗儀器，於2009年11月13日啟用。

基本介紹

• 中文名：薄膜沉積系統
• 產地：美國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2009年11月13日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 機加工工藝實驗設備

技術指標

一次最大可以濺射1片6英寸樣品，樣品台可以旋轉和加熱，最高加熱溫度為800℃。濺射薄膜厚度均勻性優於±5%。

主要功能

能夠濺射各種金屬和介質材料，也可以進行反應濺射。