高效空間隔離原子層沉積薄膜製備系統是一種用於材料科學、機械工程、能源科學技術領域的計量儀器，於2015年12月14日啟用。
基本介紹
- 中文名：高效空間隔離原子層沉積薄膜製備系統
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學、機械工程、能源科學技術
- 啟用日期：2015年12月14日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀
技術指標,主要功能,
技術指標
前驅體之間隔離氣密性：2ppm；沉積速率：5s/循環；實現交替生長；以氧化鋁和氧化鋅為檢測標準，實現線性生長，；薄膜組分達AlOXX=1.4—1.5，ZnOYY=0.9—1.0。
主要功能
多元物質原子層沉積膜。設備搭建迅速，功能實現簡單，空間利用率高。可以實現一台設備上，存在多個模組進行不同反應物的實驗。設備搭建迅速，功能實現簡單，空間利用率高。可以實現一台設備上，存在多個模組進行不同反應物的實驗。
