電子束蒸發真空薄膜沉積系統

電子束蒸發真空薄膜沉積系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的計算機及其配套設備，於2017年12月7日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子束蒸發真空薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學
• 啟用日期：2017年12月7日
• 所屬類別：計算機及其配套設備 > 軟體 > 軟體

技術指標

380v,立式。

主要功能

測量用。