雙室薄膜沉積系統

雙室薄膜沉積系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2010年6月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙室薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2010年6月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

立式雙室，行星夾具，分子泵機械泵真空系統。

主要功能

本系統設有直流磁控濺射、射頻磁控濺射和熱蒸發法鍍膜裝置，既能獨立實現濺射鍍膜，還能實現多靶共濺射，基本上滿足不同類別材料薄膜和化合物薄膜的鍍制。