雙室磁性薄膜和超薄膜沉積系統

雙室磁性薄膜和超薄膜沉積系統是一種用於物理學、電子與通信技術領域的計量儀器，於2014年12月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：雙室磁性薄膜和超薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、電子與通信技術
• 啟用日期：2014年12月20日
• 所屬類別：計量儀器 > 聲學計量儀器

技術指標

多靶高真空度（10-6Pa）DC和RF磁控濺射。

主要功能

設備可用於鐵磁薄膜生長製備。