太陽能薄膜沉積系統

太陽能薄膜沉積系統是一種用於自然科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2009年09月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：太陽能薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：自然科學相關工程與技術
• 啟用日期：2009年09月28日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

真空系統配置，極限壓力，恢復真空時間等指標。

主要功能

製備非晶矽和微晶矽薄膜等太陽電池器件。