高真空OLED薄膜沉積系統是一種用於物理學、工程與技術科學基礎學科、自然科學相關工程與技術、產品套用相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2015年12月30日啟用。
基本介紹
- 中文名：高真空OLED薄膜沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：物理學、工程與技術科學基礎學科、自然科學相關工程與技術、產品套用相關工程與技術
- 啟用日期：2015年12月30日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電子產品通用工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
該系統為雙室結構有機無機氣相分子沉積系統，主要用來生長薄膜太陽能電池，OLED分子有機電致發光器件薄膜的研究工作。 1、系統採用直線式結構，系統由一個有機材料生長室和一個無機金屬材料生長室組成，兩個生長室之間通過閘板閥聯接。 2、樣品通過帶遠程手控盒功能的電動磁力耦合裝置在兩個生長室之間手動傳遞。 3. D型真空室， 生長室極限真空度≤2.0×10-5 Pa；抽速：40分鐘可達到1×10-4 Pa。 4. 有機材料生長室中放置OEL升華型蒸發源9支+下沉式有機蒸發源3支，束源爐坩堝容量10cc，室溫-800℃。 5. 有機無機金屬生長室中放置OEL升華型蒸發源6支+2組下沉式熱阻蒸發源。 6. 鍍膜樣品尺寸：50×50mm，樣品架尺寸：W118×L140mm；掩膜架尺寸：W118×L140mm。 7、二個生長室用二個SQM200石英晶振膜厚監測儀進行薄膜厚度測試，配備4個進口石英晶振探頭。
主要功能
製備9+3+6種有機薄膜，以及各種金屬薄膜、無機物薄膜 可設計製作OLED白光器件和顯示器件 可用來評估材料的發光性能和薄膜光電性能。
