金屬與有機材料薄膜沉積系統

金屬與有機材料薄膜沉積系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2017年3月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：金屬與有機材料薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年3月8日

技術指標

(1) 抽氣效率：40分鐘後可達≤5.0*10-6 Torr(粗抽管路至腔體在2m內)；終極壓力：12小時後可達≤ 8*10-7 Torr； (2) 基載：處理量為10片玻璃（玻璃尺寸40mm*40mm）；Mask 20片 (有機10個；金屬10)；可選擇一次一片、兩片或多片多種鍍膜模式；旋轉速度5-40 rpm內可調 (3) 蒸鍍源數量：6組（4組有機蒸鍍源，2組金屬蒸鍍源）；蒸鍍源遮板：6組；電源獨立控制； (4)電子束蒸鍍源：電子槍源：STH-270-1CK；坩堝：4*7cc；側邊驅動坩堝旋轉；電源供應器：CV-6SLX, 6KW；EBC控制器：電源控制，可進行多種電子束掃描。

主要功能

可進行熱蒸鍍小分子有機材料，金屬材料（包括鋁，金，銀，銅等），可利用電子束蒸發高熔點的氧化物及部分金屬材料。