金屬有機化學氣相沉積系統

金屬有機化學氣相沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年3月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：金屬有機化學氣相沉積系統
• 產地：英國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年3月20日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 汽車工藝實驗設備 > 紅外線汽車排氣分析儀

技術指標

分子泵，超淨間。

主要功能

蝕刻。