金屬有機物化學氣相沉積系統

金屬有機物化學氣相沉積系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2006年7月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：金屬有機物化學氣相沉積系統
• 產地：英國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2006年7月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

運行穩定：0-1200C；轉速：0-600RPM；樣品托盤：3*2；生長源氣：TMGa，TMAl，TMIn，CP2Mg,SiH4,NH3。

主要功能

生長III-V族化合物半導體材料以及它們的多組元固溶體的薄層單晶。