廈門大學微機電研究中心

廈門大學微機電研究中心的目標是建設世界一流的微納米研究中心，使中心成為一個多學科交叉的開放性的公共研究平台，微納米器件與系統創新科技人才的培養平台，以及科研成果轉化和產業化的基地。

基本介紹

• 中文名：廈門大學微機電研究中心
• 目標：建設世界一流的微納米研究中心
• 建設時間：2002年2月建成

簡介

1999年底，由廈門大學、薩本棟教育科研基金會和廈門市政府共同創議設立廈門大學薩本棟微機電研究中心，並且成立了籌委會。經過兩年時間的籌建，大樓於2002年2月建成，中心正式於2002年9月開始運行，2003年經驗收成為廈門市（福建省）MEMS工業工程中心，2006年獲批為福建省高校重點實驗室。中心的目標是建設世界一流的微納米研究中心，使中心成為一個多學科交叉的開放性的公共研究平台，微納米器件與系統創新科技人才的培養平台，以及科研成果轉化和產業化的基地。

中心領導

職務	姓名	辦公地點
主任	吳晨旭	204
副主任	傅萬里	203
副主任	郭航	407
副主任	張保平	408

研究方向

中心的研究方向，主要從事微納米加工技術、微納米材料以及微納米器件與系統的研究與套用，並為國內外產業及研究機構服務。

基礎建設

經過建設，中心3800平方米的中心大樓 “亦玄館”內擁有100級、1000級、10000級總計660平方米的工藝潔淨室、各種高純氣體供氣系統、18MΩ純水系統、三廢處理系統、防震工作檯等。中心現有80多台各種微機電工藝設備，如AMS 200深矽電漿刻蝕系統、ICP-2B刻蝕機、AWB04鍵合機、MA6/BA6 Karlsuss雙面光刻機和鍵合機、POLI-400化學機械拋光機、WL2040鋁絲壓焊機、OPTI CAOT 22i噴塗膠機系統、ZSH406全自動劃片機、DQ-500等離子去膠機、全自動清洗甩乾機、AXTRON MOCVD金屬有機物化學氣相沉積系統、4470微控四管擴散爐、4371LPCVD低壓化學沉積系統、OMICRON分子束外延系統、JS-3X100B磁控濺射台、PECVD-2E等離子澱積台、ZZSX500C電子束蒸發台、JC500-3/D磁控濺射鍍膜機、石英管清洗機，以及多種常用測試儀器, 如OLS1100雷射共聚焦顯微鏡、DEKTAK-III台階測量儀、D41-11A/ZN四探針電阻測試儀、Nikon L150金相顯微鏡等。

研究課題

中心成立以來已經承擔多項國家級、省部級科研課題以及企業合作重大課題。當前正在進行與生物醫學工程、航空航天、通訊工程、汽車工業、新能源等行業相關的微納米器件及系統的研究和開發，並不斷拓展合作研究與開發的新領域。