大尺寸高溫化學氣相沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年11月18日啟用。
基本介紹
- 中文名：大尺寸高溫化學氣相沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2013年11月18日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 機加工工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 系統極度真空度： 低於0.5×10 Pa 2. 加熱系統： 沉積溫度達1600 ？C以上，1600 oC持續時間不少於24小時；多段（約12段）程式控溫，升溫速率從0.1 ~20 oC /min可調。 3. 溫度控制： 有效工作區溫度控制精度：±1 ？C；有效工作區溫度均勻性：±5 ？C。 4. 有效工作區： 加熱有效均勻區為？100×150 mm。 5. 氣路系統： 氣路系統能滿足Ar，CH4氣體的輸送與排出，配置Ar，CH4質量流量計。原料罐能滿足SiCl4、TiCl4有機原料的加熱氣化與輸送。
主要功能
大尺寸高溫化學氣相沉積系統主要用於大尺寸薄膜、厚膜以及晶片（單晶、多晶）的生長，特別適用於常規條件下難以製備的高溫碳化物材料（如：SiC、Ti3SiC2）的生長。另外，還可用於大型金屬、陶瓷件的表面改性。
