石墨烯化學氣相沉積系統是一種用於電子與通信技術、航空、航天科學技術領域的工藝試驗儀器，於2016年8月2日啟用。
基本介紹
- 中文名：石墨烯化學氣相沉積系統
- 產地：美國
- 學科領域：電子與通信技術、航空、航天科學技術
- 啟用日期：2016年8月2日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
1、全套石英器件，4條獨立控制氣路（氬氣、氫氣、高、低流量甲烷），氣體泄漏探測器。2、獨立三溫區，最高溫度1100℃，恆溫均勻性小於0.5℃。3、不小於98%面積的單層石墨烯。4、100mtorr至500torr真空可控，最低真空50mtorr，單獨常壓尾氣排氣管路。5、襯底大小：≤50mm×50mm或2英寸。
主要功能
專利技術保證高質量石墨烯生長，成熟工藝程式。
