石墨烯高溫化學氣相沉積系統

石墨烯高溫化學氣相沉積系統是一種用於物理學、材料科學、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2014年9月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：石墨烯高溫化學氣相沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2014年9月10日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

最高溫度1700攝氏度，最大樣品面積1平方厘米，可進行低壓、近常壓以及電漿增強CVD。

主要功能

樣品退火，金屬、絕緣體和半導體上的石墨烯CVD生長，碳納米管生長。最大面積2英寸，當使用最高溫度1700攝氏度時，最大面積降為1平方厘米。