化學氣相沉積系統

化學氣相沉積系統是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2011年11月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：化學氣相沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2011年11月28日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 通用電子測量儀器

技術指標

MCVD機械控制系統，包括：機架、石英管卡盤、載台移動和卡盤旋轉的DC伺服控制馬達、載台速度好位置的高精度編碼定位控制系統、水冷不鏽鋼N2氣調節火焰形狀主燈、主燈火焰抽風罩、紅外高溫探測儀、SOOT自動去除系統、預製棒壓力控制系統、尾燈、校管工具、旋轉密封接頭、手燈;氣體控制系統，包括：4個鼓泡瓶單元SiCl4、GeCl4、POCl3、BCL3，設備內氣體管道、閥門及相應的質量流量計;管道加熱裝置、其他必需的管道、控制等組件;控制計算機、控制軟體、PLC、其他必需的控制組件等。

主要功能

材料科學。