高溫氯化物化學氣相沉積系統

高溫氯化物化學氣相沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2016年9月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：高溫氯化物化學氣相沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年9月8日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 電加工工藝實驗設備

技術指標

1. 樣品轉動：速度15-60 轉/分鐘可調，電動控制。 2. 圓筒樣品旋轉和平移同時進行，速度可程式控制，在鍍膜過程中噴嘴不動； 3. 樣品尺寸：外徑50×內徑40×長度100 mm。

主要功能

高頻加熱氯化物化學氣相沉積系統主要用於以氯化物為前驅體，快速均勻製備平面與非平面（圓筒和球面）薄膜與塗層材料，特別適用於常規條件下難以製備的高溫碳化物和氧化物材料。