甚高頻電漿化學氣相沉積系統

甚高頻電漿化學氣相沉積系統是一種用於材料科學、能源科學技術領域的分析儀器，於2013年12月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：甚高頻電漿化學氣相沉積系統
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學、能源科學技術
• 啟用日期：2013年12月12日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器 > 圓二色光譜儀

技術指標

6英寸矽基薄膜電池全自動工藝集成系統； 3個PECVD腔室 1個Sputter腔室； 極限真空：10-5Pa。

主要功能

a-Si、nc-Si、nc-SiGe、Ge量子點、AZO、ITO 薄膜。