微波化學氣相沉積系統

微波化學氣相沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年8月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：微波化學氣相沉積系統
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年8月12日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

微波功率5kW。

主要功能

超寬頻隙半導體材料生長。