微波電漿化學氣相沉積

微波電漿化學氣相沉積是使反應氣體的分子離化的微波。

基本介紹

• 中文名：微波電漿化學氣相沉積
• 外文名：Microwave PCVD, MPCVD
• 作用：使反應氣體的分子離化
• 幫助條件：微波

微波電漿 CVD （Microwave PCVD, MPCVD）將微波發生器產生的微波用波導管經隔離器進入反應器，並通入 CH4與 H2的混合氣體，在微波的激勵下，在反應室內產生輝光放電，使反應氣體的分子離化，產生電漿，在襯底上沉積得到金剛石膜。