微波電子迴旋共振電漿化學氣相沉積，一級套用學科：材料科學技術，二級套用學科：材料科學技術基礎。
| 中文名稱 | 微波電子迴旋共振電漿化學氣相沉積 |
| 英文名稱 | electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition |
| 定 義 | 將電場與磁場結合運用，使電場的頻率與電子在磁場中的迴旋的頻率相匹配，即電子迴旋共振方法產生電漿的化學氣相沉積方法。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科） |
基本介紹
- 中文名：微波電子迴旋共振電漿化學氣相沉積
- 外文名：electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition
- 一級套用學科：材料科學技術
- 二級套用學科：材料科學技術基礎
- 中文名稱
- 微波電子迴旋共振電漿化學氣相沉積
- 定 義
- 將電場與磁場結合運用，使電場的頻率與電子在磁場中的迴旋的頻率相匹配，即電子迴旋共振方法產生電漿的化學氣相沉積方法。
- 套用學科
- 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科）
