中國科學技術大學近代物理系教授（博士生導師） 1962年畢業於吉林大學物理系， 畢業後一直在高等學校和研究所從事科研和教學工作。主講過電動力學、套用電漿物理、電漿放電原理、電磁學等課程。
基本介紹
- 中文名：詹如娟
- 國籍：中國
- 民族：漢
- 出生地：中國
- 職業：教授
- 畢業院校：吉林大學
人物經歷,主講課程,研究方向,主要貢獻,
人物經歷
1962年畢業於吉林大學物理系， 畢業後一直在高等學校和研究所從事科研和教學工作。
中國科學技術大學近代物理系教授（博士生導師）。
主講課程
過電動力學、套用電漿物理、電漿放電原理、電磁學等課程。
研究方向
表面放電電漿產生機理與實驗 、CVD金剛石膜輻射探測器的研製。
主要貢獻
在聚變電漿物理方面，曾從事托卡馬克電漿的電子迴旋共振加熱工程和物理實驗研究，較早在HT-6B托卡馬克上實現了微波ECR產生和加熱電漿。
1988年後主要從事低溫電漿的教學和科研工作，研製了適用的直流、微波(ECR及微波表面波) 電漿源，用電漿化學氣相沉積合成金剛石、類金剛石、碳化矽、碳化鉭等多種功能薄膜、進行了鐵基材料表面電漿氮化及聚合物表面電漿改性等相關的電漿套用及套用基礎研究。建立了多種用於低氣壓低溫電漿參數診斷手段，開展了電漿參數對這些過程影響研究。利用加柵網和摻入惰性氣體兩種方法成功進行了電漿電子溫度調整控制，並研究了電子溫度的調控對PCVD過程反應粒子的影響。開展了大氣壓輝光放電實驗研究，成功使用多種形狀的電極，在多種氣體中獲得了穩定的大氣壓輝光放電,並成功研製了大氣壓冷電漿噴流裝置和大氣壓表面放電裝置，進行了大氣壓放電電漿的套用研究。
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The characterization of the slot antenna microwave plasma source Cong-Feng Wu, Ru-Juan Zhan, Xiaohui Wen,Wei-Dong Huang IEEE Trans. Plasma Sci. 29,1(2001)13-18。
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