電漿技術與套用

《電漿技術與套用》是化學工業出版社出版的圖書，作者是許根慧，姜恩永，盛京。

基本介紹

• 書名：電漿技術與套用
• 作者：許根慧，姜恩永，盛京
• ISBN：9787502584740 
• 出版社：化學工業出版社

圖書相信

作　者：許根慧，姜恩永，盛京 著

出 版 社：化學工業出版社

ISBN：9787502584740

出版時間：2006-05-01

版　次：1

頁　數：242

裝　幀：平裝

開　本：16開

所屬分類：圖書 > 科學與自然 > 物理學

內容簡介

本書是以非平衡(低溫)電漿技術為主，介紹了非平衡電漿的基本原理、概念和套用，低溫電漿技術在化學合成反應、聚合反應、電漿鍍膜、表面處理和功能膜製備等中的套用。

本書以非平衡電漿為主要內容進行介紹，共分為10章，第1章～第3章介紹電漿基本原理、基本概念。第4章～第9章分別介紹在無聲放電、電暈和輝光放電、微波放電等不同的電漿條件下的研究基礎工作與技術套用。第10章簡要介紹近幾年來國際上對電漿技術的研究進展。

本書可作為石油、化工、能源、材料、環境、電子等工程專業和大專院校師生、研究生和工程技術人員的參考書。

目錄信息

1電漿基本原理1

11電漿概念1

111物質的三態變化2

112物質第四態——電漿2

12電漿特徵和電漿判據3

121電漿的整體特性3

122電漿的準電中性3

123電漿鞘層4

124電漿擴散過程5

125電漿輻射5

13電漿的特徵量及電漿判據7

131粒子密度和電離度7

132電子溫度和離子溫度7

133沙哈方程8

134電漿的時空特徵限量8

135電漿判據8

14電漿的分類9

141按存在分類9

142按電離度分類9

143按粒子密度分類9

144按熱力學平衡分類10

15電漿的套用10

151電漿物理10

152電漿化學10

153電漿工程13

154電漿工業套用實例13

參考文獻13

2電漿化學行為14

21電漿的超常化學現象14

22非平衡電漿的激活作用17

221碰撞參數18

222電漿中的基本粒子18

223電漿產生的電離機制21

23電離過程分析——電子雪崩現象23

24電漿化學反應歷程25

2 41電子反應26

242重粒子之間的反應26

243舉例分析26

參考文獻29

3電漿發生技術30

31氣體放電特性與原理30

311湯森放電31

312帕邢定律(Paschen law)32

313氣體原子的激發轉移和消電離32

32放電電漿發生形式與放電類型33

321電暈放電過程33

322火花放電過程34

323介質阻擋放電（DBD）過程34

324輝光放電35

325弧光放電過程35

3 26微波放電36

33放電參量與電漿作用36

331放電參量36

332電漿作用舉例分析——輝光放電電漿作用37

34電漿工業發生技術41

341高頻電漿發生技術41

342介質阻擋放電（DBD）電漿技術制臭氧42

參考文獻43

4介質阻擋放電電漿技術與套用44

41介質阻擋放電特性44

411介質阻擋放電反應器44

412介質阻擋放電的物理過程44

413介質阻擋放電特性46

42介質阻擋放電物理參數的測量46

421介質阻擋放電的參數和過程46

422介質阻擋放電的電場強度47

423介質阻擋放電的等效電路48

424介質阻擋的放電電壓48

425介質阻擋的放電電流49

426介質阻擋的放電電荷49

427介質阻擋放電的功率50

43甲烷的微放電51

431微放電的形貌51

432微放電的特徵52

433測量方法53

44無聲放電等離子技術在化工中的套用——天然氣轉化和CO2利用53

441介質阻擋放電電漿催化天然氣偶聯制C2烴54

442甲烷和二氧化碳反應59

45偶聯歷程的量子化學研究65

451反應途徑的推定66

452計算方法66

453過渡態的幾何構型67

454生成熱和活化能68

455鍵級分析69

456內稟反應坐標（IRC）反應路徑分析70

457結語72

參考文獻72

5電暈和輝光放電電漿技術與套用74

51電暈和輝光放電電漿性質分類74

511電暈放電74

512輝光放電75

52電漿鞘層效應和放電的機理分析75

521電漿鞘層效應75

522電暈放電的機理分析78

53電暈和輝光放電電漿技術在化工中的套用——甲烷和二氧化碳制合成氣、甲烷偶聯制碳二烴80

531利用電暈放電冷電漿技術,甲烷和二氧化碳制合成氣80

532非對稱電極電暈放電場的能量分布90

533常壓輝光放電甲烷偶聯制碳二烴93

534電漿甲烷常壓偶聯反應的光譜分析98

參考文獻104

6微波放電電漿技術與套用106

61微波電漿原理106

611微波在電漿中的傳播特性107

612微波電漿的電子能量吸收的計算109

62微波電漿化學氣相沉積系統112

621微波電漿化學氣相沉積系統112

622溶膠霧化微波電漿化學氣相製備薄膜材料115

63微波等離子化學氣相沉積的套用119

631微波電漿化學氣相沉積製備薄膜119

632微波電漿化學氣相沉積法製備納米管121

633微波電漿製備粉體材料122

634微波電漿表面改性124

參考文獻127

7放電電漿技術與在薄膜製備中的套用(一)128

71電漿的形成與檢測128

711低溫電漿的形成方法128

712電漿的測量130

72電漿濺射現象與性質133

721濺射現象133

722濺射率134

723濺射率的測量法134

724各種物質的濺射率136

725各種物質起始濺射的能量閾值138

726離子的加速電壓同濺射率的關係138

727濺射率和晶體結構的關係140

728離子束相對靶面的入射角同濺射率的關係140

729從靶面上被濺射出來的粒子狀態140

7210被濺射出來的原子的角度分布141

73濺射裝置和工作原理141

731直流二極濺射裝置及工作原理142

732磁控濺射裝置和原理143

733對向靶濺射裝置和原理143

734射頻濺射裝置和工作原理144

735離子束濺射裝置與原理147

736反應濺射法的成膜原理147

737雷射束成膜裝置148

參考文獻148

8放電電漿技術與在薄膜製備中的套用（二）150

81高密度磁記錄用的垂直磁化薄膜150

811CoCr系垂直磁化薄膜150

812鋇鐵氧體（BaM）垂直磁化薄膜154

82對向靶反應濺射FeN薄膜156

821對向靶反應濺射α″Fe16N2單晶薄膜156

822FeN梯度薄膜159

823Ti摻雜α″Fe16N2薄膜的結構熱穩定性增強162

83碳氮薄膜163

831碳氮薄膜的化學成分——氮含量164

832碳氮薄膜的化學鍵結構166

833碳氮薄膜的力學性質169

834碳氮薄膜的電學性質170

835光學性質170

836熱穩定性171

837類芳香烴結構的碳氮薄膜172

84軟X射線光學多層膜172

841軟X射線金屬多層膜的結構設計173

842軟X射線光學多層膜的製備、結構穩定性與反射率175

843軟X射線光學多層膜的結構評價178

85磁隧道結（MTJ）179

851MTJ中鐵磁薄膜層之間的隧穿電導180

852隧道結的製備及性質測量183

853實驗結果183

86顆粒薄膜185

861鐵磁性金屬非磁性金屬顆粒膜186

862金屬絕緣體顆粒薄膜188

863與顆粒結構相關的其他磁性質195

864套用195

參考文獻196

9電漿在高分子化學中的套用198

91低溫電漿在高分子化學中的套用198

92電漿聚合199

921電漿聚合反應裝置199

922電漿反應的基本參數201

923電漿聚合的反應機理與特徵202

924電漿聚合反應207

93電漿引發聚合208

931電漿引發聚合的裝置209

932單體和反應條件209

933電漿引發聚合的反應機理和特徵210

934電漿引發聚合反應211

9 35電漿引發聚合原位合金化216

94高分子材料的電漿表面修飾與改性217

941電漿表面處理的特點218

942電漿與高分子材料表面的作用218

943高分子材料表面的電漿修飾與改性的套用220

95電漿高分子化學的發展前景224

參考文獻225

10電漿化學的進展228

101電漿在微電子、光電子技術方面的套用及進展228

102電漿在薄膜製備領域的套用及進展228

103超純、超細粉末材料的合成229

104電漿表面處理229

1041聚合物材料的電漿表面改性230

1042電漿在納米複合材料的製備中的套用231

1043金屬材料的表面處理231

1044電漿噴塗232

105電漿化學合成232

1051常壓非平衡電漿合成氨233

1052電漿有機合成233

1053納米碳管的合成233

106低溫電漿在環境保護方面的套用進展233

1061低溫電漿處理氣體污染物的研究進展234

1062在溫室氣體轉化方面的套用234

1063臭氧的合成235

1064在汽車廢氣處理方面的套用235

1065在液、固體廢物處理方面的套用235

107在生物學和醫學方面的套用236

1071提高醫用高分子材料的生物相容性236

1072生物醫用聚合物材料的微圖形化237

1073利用電漿殺菌消毒238

108電漿化學中的診斷技術239

展望240

參考文獻240