電漿科學技術及其在工業中的套用

內容簡介

本書有以下特點

1．理論上本書力求內容廣泛，邏輯性強，內容涉及低溫電漿的種類，各種電漿發生的機理及特點，電漿基本動力學過程，及常用電漿診斷和電漿工業套用，尤其是在印刷包裝行業中的技術套用。

2．作者關注到電漿科學和技術的發展，努力將低溫電漿物理及材料製備、相關放電裝置及診斷等內容詳盡陳述。同時作者亦將本人和所在實驗室二十多年來的一些通過國家鑑定或已公開的科研成果編入了本著作，以此豐富教材內容。

3．結合近年來功能薄膜技術的快速發展，本著作將濺射離子鍍膜、電子槍蒸發鍍膜，各種離子源與電漿源的粒子產生、它們之間的作用和發展關係等納入本著作中進行論述，目的是增強與完善人們對電漿濺射離子鍍膜工作的完整認識。

4．結合目前人們往往只注重處理效果或成膜質量與放電巨觀參數之問的關係，如放電電壓、電流、氣體壓強、放電頻率等，而忽略電漿的微觀參數，如電子溫度、密度、離子溫度、密度等，本著作在力所能及的範圍內論述並強調了微觀參數的重要性，並且把“電漿診斷”單獨作為一章節，對通用的診斷方法進行了詳盡的論述。

作者張廣秋研究員在中國科學院電漿物理研究所工作期間1973--1986)，一直從事電漿光譜診斷研究。先後開發出高速轉鏡電漿光譜時空分析測量系統及多路光導纖維電漿光譜時空分布測量系統，套用於核聚變托卡馬克實驗研究。現在他將光譜測量這一古老的診斷方法套用於低溫電漿，力圖推進低溫電漿技術的發展。