離子滲氮法是由德國人B.Berghaus於1932年發明的。該法是在0.1~10Torr的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數百伏的直流電壓，由於輝光放電現象便會產生象霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時，已離化了的氣體成分被電場加速，撞擊被處理工件表面而使其加熱。同時依靠濺射及離子化作用等進行氮化處理。
離子滲氮法是由德國人B.Berghaus於1932年發明的。該法是在0.1~10Torr的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數百伏的直流電壓，由於輝光放電現象便會產生象霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時，已離化了的氣體成分被電場加速，撞擊被處理工件表面而使其加熱。同時依靠濺射及離子化作用等進行氮化處理。
離子氮化法與以往的靠分解氨氣或使用氰化物來進行氮化的方法截然不同，作為一種全新的氮化方法，現已被廣泛套用與汽車、機械、精密儀器、擠壓成型機、模具等許多領域，而且其套用範圍仍在日益擴大。
離子氮化法具有以下一些優點：
1、由於離子氮化法不是依靠化學反應作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環境十分清潔而無須防止公害的特別設備。
2、由於離子氮化法利用了離子化了的氣體濺射作用，因而與以往的氮化處理相比可顯著的縮短處理時間（離子氮化的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3~1/5）。
3、由於離子氮化法利用輝光放電直接進行加熱，也無需特別的加熱和保溫設備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式相比加熱效率可提高2倍以上，達到節能效果（能源消耗僅為氣體滲氮的40%~70%）。
4、由於離子氮化實在真空中進行，因而可獲得無氧化的加工表面也不損害被處理工件的表面光潔度。而且由於是在低溫下進行處理，被處理工件的變形量極小，處理後無需再進行加工，極適合於成品的處理。
5、通過調節N、H、X等氣體的比例，可自由地調節化合物層的組成，從而獲得預期的機械性能。
6、離子氮化從380℃起即可進行氮化處理，此外，對鈦等合金特殊材料也可在850℃的高溫下進行特殊的離子氮化處理，因而適應範圍十分廣泛。
7、由於離子氮化是在低氣壓下以離子注入的方式進行，因而耗氣量極少（僅為氣體滲氮的百分之幾），可以大大降低處理成本。
儘管離子滲氮技術的研究早在上世紀三十年代就開始了，但直至1967年，這一技術才達到工業實用階段。六十年代末期，我國開始了離子滲氮工藝和設備的研究，進而由試製到生產套用並創新發展。目前，我國在離子滲氮某些理論和技術方面已處在世界領先水平。
離子滲氮技術套用的迅猛發展得益於這一工藝自身的諸多特點。離子滲氮的套用日益廣泛，套用對象從碳鋼到合金鋼，從工具鋼到不鏽鋼，從鑄鐵到鑄鋼無所不及，現在又擴展到鈦合金和粉末冶金件的表面強化。隨著人們對這一工藝的認識進一步深入，其套用前景將更加廣闊。目前離子滲氮還與其他工藝方法相互滲透，相互補充，進一步擴大了其套用領域。
離子氮化法與以往的靠分解氨氣或使用氰化物來進行氮化的方法截然不同，作為一種全新的氮化方法，現已被廣泛套用與汽車、機械、精密儀器、擠壓成型機、模具等許多領域，而且其套用範圍仍在日益擴大。
離子氮化法具有以下一些優點：
1、由於離子氮化法不是依靠化學反應作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環境十分清潔而無須防止公害的特別設備。
2、由於離子氮化法利用了離子化了的氣體濺射作用，因而與以往的氮化處理相比可顯著的縮短處理時間（離子氮化的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3~1/5）。
3、由於離子氮化法利用輝光放電直接進行加熱，也無需特別的加熱和保溫設備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式相比加熱效率可提高2倍以上，達到節能效果（能源消耗僅為氣體滲氮的40%~70%）。
4、由於離子氮化實在真空中進行，因而可獲得無氧化的加工表面也不損害被處理工件的表面光潔度。而且由於是在低溫下進行處理，被處理工件的變形量極小，處理後無需再進行加工，極適合於成品的處理。
5、通過調節N、H、X等氣體的比例，可自由地調節化合物層的組成，從而獲得預期的機械性能。
6、離子氮化從380℃起即可進行氮化處理，此外，對鈦等合金特殊材料也可在850℃的高溫下進行特殊的離子氮化處理，因而適應範圍十分廣泛。
7、由於離子氮化是在低氣壓下以離子注入的方式進行，因而耗氣量極少（僅為氣體滲氮的百分之幾），可以大大降低處理成本。
儘管離子滲氮技術的研究早在上世紀三十年代就開始了，但直至1967年，這一技術才達到工業實用階段。六十年代末期，我國開始了離子滲氮工藝和設備的研究，進而由試製到生產套用並創新發展。目前，我國在離子滲氮某些理論和技術方面已處在世界領先水平。
離子滲氮技術套用的迅猛發展得益於這一工藝自身的諸多特點。離子滲氮的套用日益廣泛，套用對象從碳鋼到合金鋼，從工具鋼到不鏽鋼，從鑄鐵到鑄鋼無所不及，現在又擴展到鈦合金和粉末冶金件的表面強化。隨著人們對這一工藝的認識進一步深入，其套用前景將更加廣闊。目前離子滲氮還與其他工藝方法相互滲透，相互補充，進一步擴大了其套用領域。
