摻雜型金剛石化學氣相沉積系統

摻雜型金剛石化學氣相沉積系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2018年6月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：摻雜型金剛石化學氣相沉積系統
• 產地：白俄羅斯
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年6月27日

技術指標

工作電壓400V電流15A功率8kW/6kW (2.45 GHz)微波源功率/反應氣體Н2,СН4,N2,О2,Ar。

主要功能

該設備包括微波發生系統、水冷系統、氣路系統、偏壓系統、微波諧振腔與電控系統，主要用於單晶、多晶、納米晶金剛石的生長，金剛石的N型和P型原位摻雜，異質襯底的偏壓輔助增強原位形核等方面，在製備工具級、熱沉級、光學級、電子級金單晶剛石方面套用廣泛，具有生長速率快、摻雜效率高、薄膜質量優等特點。