感應耦合式電漿增強型化學氣相沉積系統

感應耦合式電漿增強型化學氣相沉積系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2016年12月20日啟用。

基本介紹

• 中文名：感應耦合式電漿增強型化學氣相沉積系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2016年12月20日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

澱積SiO2，SiN，a-Si；厚度範圍10nm~1μm；均勻性10%。

主要功能

低溫工藝，可在溫室下進行SiO2澱積。