熱絲化學氣相沉積是指用灼熱鎢絲加熱分解碳物質,激活化學氣相反應,製備金剛石膜的工藝方法。這種方法的特點是設備簡單,工藝條件較易控制,金剛石膜生長速率比化學輸運法快,因而很快在全世界的金剛石膜研究中得到廣泛套用,成為製備金剛石膜的主要方法之一。
基本介紹
- 中文名:熱絲化學氣相沉積
- 外文名:hot filament chemical vapor deposition
- 學科:材料工程
- 領域:工程技術
熱絲化學氣相沉積是指用灼熱鎢絲加熱分解碳物質,激活化學氣相反應,製備金剛石膜的工藝方法。這種方法的特點是設備簡單,工藝條件較易控制,金剛石膜生長速率比化學輸運法快,因而很快在全世界的金剛石膜研究中得到廣泛套用,成為製備金剛石膜的主要方法之一。
熱絲化學氣相沉積是指用灼熱鎢絲加熱分解碳物質,激活化學氣相反應,製備金剛石膜的工藝方法。這種方法的特點是設備簡單,工藝條件較易控制,金剛石膜生長速率比化學輸運法快,因而很快在全世界的金剛石膜研究中得到廣泛套用,成為製備金...
熱絲法化學氣相沉積,亦稱“熱解化學氣相沉積”。通過熱解含碳氣體製備金剛石的方法。在由石英管或類似容器構成的真空反應室上部水平安裝以難熔金屬材料如鎢、鈮、鉭等製成的燈絲,加熱到2000℃以上;把用於沉積金剛石的基片置於熱絲下方,向真空室中沖入甲烷等含碳氣體和氫,在燈絲的高溫作用下反應氣體分解成離子,...
《熱絲法合成金剛石膜》是2018年熊禮威、王傳新編寫圖書。書籍簡介 本書首先對CVD金剛石薄膜的性質及套用進行概述;然後對熱絲化學氣相法沉積金剛石薄膜的形核、生長過程及規律系統地進行研究分析,並對沉積過程中氣相化學進行診斷分析,討論添加輔助氣體對氣相活性基團的影響以及對沉積金剛石薄膜質量和生長速率的影響;...
《化學氣相法合成高品級單晶金剛石微粉的套用基礎研究》是依託上海交通大學,由孫方宏擔任項目負責人的面上項目。項目摘要 本項目以熱絲化學氣相沉積CVD法為基礎,研發化學氣相法合成高品級單晶金剛石微粉的新方法。通過合理最佳化熱絲CVD工藝參數,採用適合晶粒脫附的襯底材料,施加基台超聲振動避免晶粒附著或成膜,獲得控制...
實驗室建築面積600餘平方米,固定資產400餘萬元, 擁有多種功率的微波電漿化學氣相沉積裝置、微波電子迴旋共振電漿化學氣相沉積裝置、熱絲化學氣相沉積裝置、大功率微波燒結爐、電漿刻蝕機、磁控濺射鍍膜機、超音速氧噴槍、X射線衍射儀等。實驗室現有固定研究人員14名,全部具有博士學位,其中教授10名,副教授3...
圍繞“周期磁場約束化學氣相沉積金剛石的研究”,自主研發了弱磁場高轉速系統(PMF1)和強磁場低轉速系統(PMF2),與熱絲化學氣相沉積系統進行耦合,從試驗和理論模擬兩方面進行了系統地研究。試驗結果表明,周期性磁場的磁場強度(B0)、旋轉角速度(ωmf)及運動線速度(vmf)之間存在聯動關係。B0恆定時,高的ωmf...
3.9熱絲弧槍離子鍍 3.10電弧離子鍍 3.11磁控濺射鍍 3.12離子束及其在氣相沉積方面的套用 參考文獻 第4章 電漿增強化學氣相沉積技術 1 電漿增強化學氣相沉積技術機理 2 等離子氣體產生過程及性質 2.1多原子分子具有平動、旋轉和振動自由度 2.2分解 2.3電離 3 電漿化學反應過程 4 電漿增強化學...
3142低壓氣相生長金剛石的驅動力101 3143金剛石膜生成的基本條件103 315低壓沉積金剛石的方法與裝置103 3151概述103 3152熱絲化學氣相沉積104 3153微波電漿化學氣相沉積金剛石膜107 3154等離子射流法111 316金剛石塗層刀具114 3161金剛石...
《超光滑納米金剛石薄膜製備新技術與套用基礎研究》是依託上海交通大學,由孫方宏擔任項目負責人的面上項目。 項目摘要 納米金剛石薄膜的出現使得在襯底材料上直接獲得表面光滑的金剛石薄膜成為可能,本項目採用熱絲化學氣相沉積(CVD)法,在WC-Co硬質合金基體上沉積納米金剛石薄膜,研究既不損傷原有硬質合金光滑襯底表面...
《內孔金剛石塗層的製備及套用》是2021年上海交通大學出版社出版的圖書。本書首先闡述了內孔化學氣相沉積金剛石塗層技術及套用研究的重要意義,針對不同內孔套用條件製備具有不同特性的高性能熱絲化學氣相沉積(chemical vapor deposition,CVD)金剛石薄膜,並研究了不同類型熱絲CVD金剛石薄膜的摩擦學性能,進一步對內孔...
《基於納米線陷光的無光刻背接觸異質結太陽電池研究》是依託中國科學院大學,由周玉榮擔任項目負責人的青年科學基金項目。項目摘要 研究發展更加高效和低成本的晶矽太陽電池技術,是當前光伏領域最為重要的研究課題之一。. 針對目前公認的背接觸+異質結高效晶矽電池技術方案,本項目通過將熱絲化學氣相沉積和金屬掩模技術...
1. 上海海洋大學博士啟動基金: No.A2-0302-14-300081、大面積熱絲化學氣相沉積法合成高品級金剛石單晶微粉系統的仿真最佳化、執行期限2014/10-2016/9、經費2萬元 研究成果 1. 提出了CVD化學氣相沉積合成高品級單晶金剛石微粉的新技術,闡明了單晶生長、顆粒抑制成膜的機理,通過對其性能質量的評價研究,發現該微粉在...
其物理性能包括膜的結構、表面、界面及摻雜對熱和光電性能的影響;製備工藝技術包括不同材質的襯底處理,詳盡地描述了微波電漿和熱絲輔助化學氣相沉積法製備金剛石膜的工藝及各種檢測分析技術;從半導體器件物理原理出發闡述了金剛石膜粒子探測器的性能及與材料間內在聯繫。詳盡報導了國內外該領域的研究動態。圖書目錄 ...
蕪湖中碳金剛石科技有限公司成立於2009年5月,地址在蕪湖市經濟技術開發區創業園。公司引進中科聯碳(北京)科技有限公司的熱絲化學氣相沉積技術,生產高科技純金剛石材料-CVD金剛石膜,同時生產先進的CVD金剛石生長設備。CVD金剛石膜作為超硬材料時主要用來製作砂輪修整器;在軍工和高科技方面,主要用來製作超級熱沉片...
(1). 運用熱絲化學氣相沉積方法製備碳基功能薄膜,並系統地分析了薄膜的生長機制.(2).運用含時和非含時量子波包方法研究氣相分子反應動力學,特別是對單原子+雙原子反應體系進行廣泛深入研究,取得一系列原創性成果.如:在國際上首先運用含時波包方法研究三原子體系的立體動態學研究(Chem.Phys.Lett, 327, 38(2000))...
10.2化學氣相沉積製備多晶矽薄膜191 10.2.1等離子增強化學氣相沉積製備多晶矽薄膜191 10.2.2低壓化學氣相沉積製備多晶矽薄膜193 10.2.3熱絲化學氣相沉積製備多晶矽薄膜194 10.3非晶矽晶化製備多晶矽薄膜196 10.3.1固化晶化製備多晶矽薄膜197 10.3.2金屬誘導固化晶化製備多晶矽薄膜198 10.3.3快速熱處理晶化製備多晶矽...
2.4.1熱絲化學氣相沉積法20 2.4.2超臨界流體法21 2.4.3電漿直接氧化法22 參考文獻22 第3章納米線的生長機制24 3.1納米線的金屬催化VLS生長過程24 3.2納米線的VLS生長熱力學25 3.2.1VLS生長中的過飽和現象25 3.2.2從金屬合金液滴成核26 3.2.3過飽和極限的熱力學估計27 3.2.4典型二元系統的...
為了排除Si的影響,王恩哥等人利用偏壓輔助熱絲化學沉積方法在Ni襯底上首次製得了晶體形貌清晰的C3N4六稜體。但是由於在化學氣相沉積條件下更容易生成C—H和N—H產物,使得採用電漿化學氣相沉積或物理氣相沉積方法製備的氮化碳薄膜大多是非晶態的,很多研究工作集中在薄膜的力學性能、場發射性能等方面,而關於氮化碳...
6. 劉德義,黃榮芳,於傑,聞立時,師昌緒,熱絲法化學氣相沉積大面積金剛石膜中輻射場和 溫度場的尺寸效應,材料研究學報,10(3),1996, 279-284 (1996)。5. 陳岩,於傑,陳廣超,程新紅,曹曉明,張軍旗,宋貴宏,劉德義,蘇 革,黃榮芳,聞立 時,師昌緒,熱絲化學氣相生長金剛石溫度場流場模擬計算和反應...
氫化.納米矽薄膜製備的方法很多,大致分為物理沉積方法和化學沉積方法兩類,常見的有真空蒸發、PECVD、 熱絲化學氣相沉積、磁控濺射等多種方式。本實驗第一步是采 用射頻磁控濺射的方法製備氫化納米矽薄膜作為液晶空間光調製器的光敏層。製備完成後,第二步將繼續利用原子力顯微鏡測量薄膜的晶化情況、晶粒大小及表面形貌...
介質阻擋放電電漿熱絲化學氣相沉積的方法與裝置 著作成果 微電子學器件物理詳解 大學物理實驗(第二版)大學物理實驗 半導體材料與器件表征技術 科研項目 太陽能電池數值模擬軟體開發, 2008/12/31-2010/12/31, 完成 白光干涉測量感測通用信號處理系統, 國家自然科學基金項目, 2017/08/17, 進行 ...
8.2.1 熱絲化學氣相沉積法 323 8.2.2 直流電弧電漿噴射化學氣相沉積製備 324 8.2.3 微波電漿化學氣相沉積製備 325 8.3 金剛石膜的表征 327 8.3.1 拉曼譜 327 8.3.2 X射線衍射 328 8.3.3 硬度測試 329 8.3.4 掃描電鏡 329 8.4 金剛石膜在光學、紅外光學領域的套用 330 8.5 金剛石...
(22) 單壁硼碳氮納米管的熱絲輔助化學氣相沉積方法合成,Direct synthesis of B-C-N single-walled nanotubes by bias-assisted hot filament chemical vapor deposition,Journal of the American Chemistry Society,2006,第2作者 (23) 多壁碳納米管的多通道彈道輸運性質,Multichannel ballistic transport in m...
溫度場對熱絲化學氣相沉積大面積生長金剛石膜的影響 R&D Status on Intermetallics in China 金屬微粒-絕緣媒質複合體的遠紅外吸收 用於材料探傷的熱彈性紅外圖像安全檢測技術——從基礎研究到實用化 Materials Research in China 專著節選 材料大辭典 前言 材料科學技術百科全書 緒論 中國高溫合金四十年 第一個鑄造空心...
白清順,余天凱,王永旭 等. 微刀具表面熱絲法化學氣相沉積金剛石塗層的電極系統. 國家發明專利,專利號:ZL201610685787.9 白清順,王永旭,趙航,余天凱 等. 一種用於化學氣相沉積金剛石薄膜的緊湊型真空反應裝置,國家發明專利,專利號:ZL201610920789.1 白清順,何欣,沈榮琦,趙航,張慶春,高精度大口徑光柵五...