金剛石膜粒子探測器材料

內容簡介

本書系統介紹了金剛石膜材料的物理性能、製備工藝技術以及材料與光電探測器件的關係和原理。其物理性能包括膜的結構、表面、界面及摻雜對熱和光電性能的影響；製備工藝技術包括不同材質的襯底處理，詳盡地描述了微波電漿和熱絲輔助化學氣相沉積法製備金剛石膜的工藝及各種檢測分析技術；從半導體器件物理原理出發闡述了金剛石膜粒子探測器的性能及與材料間內在聯繫。詳盡報導了國內外該領域的研究動態。

圖書目錄

叢書序

前言

章緒論1

1.1金剛石膜的結構1

1.2金剛石膜的優異特性1

1.3化學氣相沉積法金剛石膜的製備技術3

1.4金剛石膜在光電領域中的主要套用6

參考文獻14

第二章自支撐金剛石膜的製備18

2.1實驗設備及原理介紹18

2.2金剛石膜的製備工藝研究20

2.3自支撐金剛石薄膜的性能25

參考文獻33

第三章金剛石膜表面導電性能研究35

3.1引言35

3.2實驗過程36

3.3自支撐金剛石膜的導電性能36

3.4本章小結45

參考文獻46

第四章金剛石膜肖特基場效應電晶體49

4.1引言49

4.2金剛石與金屬電極的接觸特性49

4.3MESFET器件製備及性能研究53

4.4本章小結55

參考文獻56

第五章金剛石膜紫外光探測器57

5.1引言57

5.2ZnO材料概述58

5.3ZnO製備及測試61

5.4實驗結果與討論63

5.5ZnO/金剛石結構紫外光探測器的性能研究69

5.6本章小結73

參考文獻74

第六章金剛石厚膜生長及其在微電子器件中的熱沉套用78

6.1引言78

6.2氧化鋁襯底的碳離子預注入85

6.3氧化鋁上金剛石膜的成核分析99

6.4金剛石的厚膜生長及應力分析110

6.5金剛石薄膜/氧化鋁複合材料性質研究124

參考文獻134

第七章納米金剛石膜X射線探測器140

7.1納米金剛石膜的製備和性能表征140

7.2納米金剛石膜粒子探測器工藝及性能表征154

7.3氫刻蝕對納米金剛石膜電學和光學性能的影響175

7.4強磁場下納米金剛石膜生長及性能表征189

參考文獻203

第八章金剛石膜α粒子探測器207

金剛石膜粒子探測器材料

基本介紹

內容簡介

圖書目錄

相關詞條

熱門詞條