磁控濺射鍍膜和AFM在氫化納米矽製作過程中的套用是南方科技大學建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：磁控濺射鍍膜和AFM在氫化納米矽製作過程中的套用
- 建設院校： 南方科技大學
- 課程負責人： 何佳清
- 授課教師：何佳清、葉飛、陳佶、張賢高、王曉峰
課程性質,教學目標,
課程性質
課程背景
磁控濺射和原子力顯微鏡( AFM )是製備與表征薄膜材料的常見物理方法,也向來是高階大學物理實驗教學中的重點和難點。然而這類實驗由於設備高端,材料昂貴,實驗過程具有危險性,不適合大面積開展實驗教學。本項目利用三維虛擬仿真技術高度還原實驗場景, 100%仿真模擬磁控濺射設備製備氫化納米矽薄膜以及利用原子力顯微鏡(AFM)表征薄膜表面形貌的實驗過程,培養學生的動手能力和探索科學的研究能力，取得良好教學效果。
教學目標
氫化納米矽薄膜作為-種新型功能材料，在可見光波段上光電靈敏性好，光電性質連續可控，能源和材料消耗少，製作工藝簡單等優點，被廣泛地套用於光導成像器件，二極體器件及三極體和積體電路等各個方面。氫化.納米矽薄膜製備的方法很多，大致分為物理沉積方法和化學沉積方法兩類，常見的有真空蒸發、PECVD、 熱絲化學氣相沉積、磁控濺射等多種方式。本實驗第一步是采 用射頻磁控濺射的方法製備氫化納米矽薄膜作為液晶空間光調製器的光敏層。製備完成後，第二步將繼續利用原子力顯微鏡測量薄膜的晶化情況、晶粒大小及表面形貌。由於磁控濺射和原子力顯微鏡(Atomic Force Mi croscopy，AFM) 設備造價昂貴，而且氫化納米矽的製備過程也具有一定危險性，不利於大面積開展實驗教學，因此我們設計了這-虛擬仿真實驗項目，具體教學目的如下:
1.了解氫化納米矽薄膜製備的成膜過程
2.了解氫化納米矽薄膜的主要功能及用途
3.熟悉磁控濺射製備氫化納米矽薄膜的操作流程
4.熟悉原子力顯微鏡測量薄膜化情況、晶粒大小及表面形貌的操作流程
