熱絲法化學氣相沉積，亦稱“熱解化學氣相沉積”。通過熱解含碳氣體製備金剛石的方法。在由石英管或類似容器構成的真空反應室上部水平安裝以難熔金屬材料如鎢、鈮、鉭等製成的燈絲，加熱到2000℃以上；把用於沉積金剛石的基片置於熱絲下方，向真空室中沖入甲烷等含碳氣體和氫，在燈絲的高溫作用下反應氣體分解成離子，產生出含碳基團和原子氫等，構成金剛石的C-C sp3雜化鍵形成，從而在基片表面沉積出金剛石或金剛石膜。
基本介紹
- 中文名：熱絲法化學氣相沉積
- 別名：熱解化學氣相沉積
熱絲法化學氣相沉積，亦稱“熱解化學氣相沉積”。通過熱解含碳氣體製備金剛石的方法。在由石英管或類似容器構成的真空反應室上部水平安裝以難熔金屬材料如鎢、鈮、鉭等製成的燈絲，加熱到2000℃以上；把用於沉積金剛石的基片置於熱絲下方，向真空室中沖入甲烷等含碳氣體和氫，在燈絲的高溫作用下反應氣體分解成離子，產生出含碳基團和原子氫等，構成金剛石的C-C sp3雜化鍵形成，從而在基片表面沉積出金剛石或金剛石膜。