三室複合薄膜沉積系統

三室複合薄膜沉積系統是一種用於材料科學、能源科學技術領域的工藝試驗儀器，於2011年08月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：三室複合薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學、能源科學技術
• 啟用日期：2011年08月01日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

1、真空室極限真空1X10-5Pa; 2蒸發室極限真空1X10-5Pa； 3靶材尺寸直徑60mm。

主要功能

使用磁控濺射法製備各種薄膜。