半導體複合薄膜沉積系統

半導體複合薄膜沉積系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2017年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：半導體複合薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年1月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

生長室尺寸600*450mm筒形結構預處理室尺寸300*900mm，極限真空8*10-8Pa,系統漏率小於10-8Pa.L/s。

主要功能

無機功能薄膜沉積。