分子束外延薄膜沉積系統

分子束外延薄膜沉積系統是一種用於材料科學領域的物理性能測試儀器，於2014年6月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：分子束外延薄膜沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年6月5日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

基礎真空：1.0*10^(-10)Torr。

主要功能

薄膜材料樣品製備。