薄膜鋰離子電池氣相沉積系統

薄膜鋰離子電池氣相沉積系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2015年12月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：薄膜鋰離子電池氣相沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年12月29日

技術指標

磁控濺射、蒸發、真空度5x10-7toor。

主要功能

薄膜鋰離子電池氣相沉積系統。