薄膜氣相沉積設備

薄膜氣相沉積設備是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2018年8月29日啟用。

基本介紹

• 中文名：薄膜氣相沉積設備
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2018年8月29日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

供水：小型供水機，冷卻水溫度在5℃-10℃之間,供氣：小型無油靜音氣泵，提供0.2-0.3Mpa氣壓極限真空：優於6*10-5pa。

主要功能

蒸鍍器件。