基於管式爐PECVD的化學氣相沉積薄膜製備虛擬仿真實驗是貴州師範學院建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：基於管式爐PECVD的化學氣相沉積薄膜製備虛擬仿真實驗
- 建設院校： 貴州師範學院
- 授課教師：陸晨、吳旭普、熊德永、陳德良
- 課程負責人： 劉高福
課程性質,教學目標,
課程性質
課程背景
薄膜製備工藝在超大規模積體電路技術中有著非常廣泛的套用,按照其成膜方法河分為兩大類:物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積( CVD)。等離子增強型化學氣相澱積( PECVD )是化學氣相澱積的一-種,其澱積溫度低是它最突出的優點。PECVD澱積的薄膜具有優良的電學性能、良好的襯底附著性以及極佳的台階覆蓋性,正由於這些優點使其在超大規模積體電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的套用。
本實驗以基於管式爐PECVD方法發生長氮化矽薄膜為例,旨在通過本實驗了解設備結構,了解真空技術在電漿制模過程中的套用,掌握電漿增強化學氣相沉積的原理、特點及其工藝過程。
教學目標
1.理解PECVD的原理、特點及電漿的激勵方式;
2.了解該技術在電學、光學、微電子學等領域的廣闊套用前景;
3.正確掌握超音波清洗機的使用方法及套用領域;
4.正確掌握機械泵抽真空技術;
5.正確掌握管式爐加熱的電腦控制方法,理解升溫、保溫、降溫曲線的意義;
6.正確掌握利用質量流量計準確控制各氣路氣體混合流入電漿產生室(石英管)的流量;
7.正確掌握電感耦合電漿的產生方法,電漿電源功率耦合調節方式;
8.理解該實驗的各個步驟順序對保障實驗安全的意義。
9.為實機操作本套實驗設備打下堅實的基礎。
