基於PECVD的聚光光伏電池晶片薄膜沉積工藝虛擬仿真實驗是湖北工業大學建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：基於PECVD的聚光光伏電池晶片薄膜沉積工藝虛擬仿真實驗
- 課程負責人：姚育成
- 建設院校：湖北工業大學
- 授課教師：呂輝、李蒙蒙、廖軍、方黎
課程性質,教學目標,
課程性質
課程背景
近幾年，美國加強了對中國的技術封鎖，特別在晶片領域，更是從技術到產業進行了全方位封鎖和限制。立足創新，發展自主的晶片技術已是國家戰略需求。PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)即電漿增強化學氣相沉積是晶片製造工藝的一個重要環節，其專業教盼翻棄學是晶片產業人才培養的重要部分。本虛擬仿真實驗項目，解決了設備祖霉辣店昂貴和高危險性等實體實驗無法克服的問題，實現了安全、有效、低成本的PECVD薄膜沉積實驗教學。
教學目標
(1)使學生掌握PECVD設備原理和操作方法，具備專業實踐能力
PECVD薄膜沉積虛擬仿真實驗，仿真了微電子工藝實驗室真實環境及設備，包括潔淨間環境及設備，輔助水、電、氣等條件，學生在虛擬環境中，可立體、生動的體驗操作PECVD沉積薄膜工藝各工序要求及操作，包括開機前外圍輔助條件供應、機台操作、特種工藝氣體通斷、工藝參數編輯及調用、氣體吹掃，電熱尾氣處理等全部工藝環節，訓練學生實操能力。通過虛擬仿真實驗，使學生掌握PECVD設備原腳糠理和操作方法，掌握微電子工藝實驗安全操作規範。初步具備企業要求的工程實踐能力。
(2)使學生掌握工藝及參數等設計和工藝研究方法，具備初步研究能力
通過PECVD薄膜沉積虛擬仿真實驗，掌握PECVD製備SiN、SiO,薄膜的原理和工藝方法。實驗設計工藝編輯學習和訓練，學生編輯工藝參數，得到不同仿真結果，進一步檔疊酷激發學生對工藝研究的興趣，提高工藝研究能力。
(3）促進學生對專業理論知識的理解和掌握，具備理論實踐貫通能力
PECVD薄膜沉積虛擬仿真實驗對電漿增強化學氣相沉積微觀機理以乃凳講習虛擬動畫形象展示，使學生對微米、納米級抽象的物理效應和實際的半導體器件和工藝之間的聯繫建立聯繫，提高了學生理論知識的綜合理解能力，盛民滲理解工藝對半導體器件特性及電路系統集成的極限影響,提高理論水平。
(4)使學生理解實驗套用工程項目場景，具備初步工程能力
實驗中設定了“聚光太陽電池晶片製備”作為項目的套用場景。使學生在一開始實驗學習時就能夠以更高的視角把握薄膜沉積工藝在所有微電子製造工藝中發揮的作用、具備的地位，理解薄膜沉積工藝在不同套用場景下的普遍性和特殊性，提高工程能力。
(5)為晶片產業技術人員提供安全低成本的培訓服務，增強社會阿采剃服務能力
PECVD薄膜沉積虛擬仿真實驗，是以真實環境及設備構建全真情景模擬平台，包含PECVD薄膜沉積工藝編制氣體準備、設備操作等每個工藝環節，除了可以滿足微電子、積體電路等相關專業可以進行實驗教學外，還可以為晶片產業技術人員提供安全、低成本的崗位培訓服務，增強社會服務能力。
