高精度有機半導體薄膜氣相沉積系統

高精度有機半導體薄膜氣相沉積系統是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2015年11月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：高精度有機半導體薄膜氣相沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2015年11月17日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

1.1 該系統需要建立在金屬型材框架上，框架上裝有真空室和真空構件。框架配有水準調節腳； 1.2 該系統標準的基板夾具至少可以固定4個20 mm × 18 mm的蒸鍍基片。每個基礎結構可配套不同模版； 1.3 系統固定裝置需提供20面掩膜板結構，夾具容納安排20個掩模板對4個基片進行鍍膜，每個基片將產生4～6個相同的器件。每個基片是相互獨立的。

主要功能

高精度有機半導體薄膜氣相沉積系統主要配置包括三大部分：高精度有機電致發光器 件沉積系統、高精度有機太陽能電池沉積系統和手套箱，兩個沉積系統通過手套箱相連線。