化學氣相沉積裝置是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2019年7月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：化學氣相沉積裝置
- 產地：美國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2019年7月15日
- 所屬類別：工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
qxcj-19。
主要功能
材料性能測試。
化學氣相沉積裝置
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低壓化學氣相沉積系統是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2017年8月15日啟用。技術指標 1、適用於矽片尺寸及管路數：6英寸（150mm）及以下尺寸，三管系統。2、裝片數量：25片及以下。3、澱積膜種類：氮化矽、低應力氮化矽、多晶矽及低應力多晶矽、二氧化矽。4、澱積膜均勻性：氮化矽3%，低應力氮化矽5%...
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