等離子增強化學氣相沉積設備是一種用於材料科學、能源科學技術領域的科學儀器，於2010年1月19日啟用。
基本介紹
- 中文名：等離子增強化學氣相沉積設備
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學、能源科學技術
- 啟用日期：2010年1月19日
技術指標,主要功能,
技術指標
高質量薄膜生長。
主要功能
沉積a-Si,SiNx, SiO2薄膜。
等離子增強化學氣相沉積設備
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