電漿化學氣相沉積設備

電漿化學氣相沉積設備是一種用於動力與電氣工程、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2016年4月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：電漿化學氣相沉積設備
• 產地：英國
• 學科領域：動力與電氣工程、電子與通信技術
• 啟用日期：2016年4月5日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 汽車工藝實驗設備 > 紅外線汽車排氣分析儀

技術指標

薄膜厚度，均勻性，折射率，透過率。

主要功能

電漿化學氣相沉積技術的基本原理是在高頻或直流電場作用下，源氣體電離形成電漿，利用低溫電漿作為能量源，通入適量的反應氣體，利用電漿放電，使反應氣體激活並實現化學氣相沉積的技術。