等離子化學氣相沉積機

等離子化學氣相沉積機是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2017年11月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：等離子化學氣相沉積機
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2017年11月9日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

氧化矽成膜速率大於400nm/min，氮化矽成膜速率大於100nm/min。

主要功能

成膜。