阿爾法電漿指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消,巨觀上呈現中性電。電漿又叫做電漿,是由部分電子被剝奪後的原子及原子被電離後產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質,它廣泛存在於宇宙中,常被視為是除去固、液、氣外,物質存在的第四態。
基本介紹
- 中文名:阿爾法等離子設備
- 外文名:Alfa plasma equipment
原理介紹,套用領域介紹,表面改性,表面活化,表面刻蝕,表面接枝,表面沉積,
原理介紹
阿爾法電漿形態
看似“神秘”的阿爾法等離子體,其實是宇宙中一種常見的物質,在太陽、恆星、閃電中都存在阿爾法電漿,它占了整個宇宙的99%。現在人們已經掌握利用電場和磁場產生來控制阿爾法電漿。阿爾法電漿可分為兩種:高溫和低溫阿爾法電漿。
低溫阿爾法電漿的電離率較低,電子溫度遠高於離子溫度,離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫阿爾法電漿是非熱平衡阿爾法電漿,低溫阿爾法電漿中存在著大量的、種類繁多的活性粒子,比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強,更易於和所接觸的材料表面發生反映,因此它們被用來對材料表面進行改性處理。
與傳統的方法相比,阿爾法電漿表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優點,同時可以得到傳統的化學方法難以達到的處理效果。現在低溫阿爾法等離子設備廣泛運用於金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域。
套用領域介紹
阿爾法等離子設備主要適用於各種材料的表面改性處理:表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及阿爾法電漿輔助化學氣相沉積:
表面改性
紙張粘合,塑膠粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理
表面活化
生物材料的表面修飾,印刷塗布或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理
表面刻蝕
矽的微細加工,玻璃等太陽能領域的表面刻蝕處理,醫療器皿表面刻蝕處理
表面接枝
材料表面特定基團的產生和表面活化的固定
表面沉積
疏水性或親水性層的阿爾法電漿聚合沉積
廣泛套用於金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域,是企業、科研院所進行阿爾法電漿表面處理的理想設備。