| 中文名稱 | 直流熱陰極電漿化學氣相沉積 |
| 英文名稱 | direct current hot cathode plasma chemical vapor deposition |
| 定 義 | 採用高溫熱陰極以及在大的放電電流和高的氣體氣壓下實現長時間穩定的輝光放電，製備大尺寸厚膜的方法。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科） |
基本介紹
- 中文名：直流熱陰極電漿化學氣相沉積
- 外文名：direct current hot cathode plasma chemical vapor deposition
- 一級套用學科：材料科學技術
- 二級套用學科：材料科學技術基礎
- 中文名稱
- 直流熱陰極電漿化學氣相沉積
- 英文名稱
- direct current hot cathode plasma chemical vapor deposition
- 定 義
- 採用高溫熱陰極以及在大的放電電流和高的氣體氣壓下實現長時間穩定的輝光放電，製備大尺寸厚膜的方法。
- 套用學科
- 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科）
