金屬有機化合物化學氣相沉積裝置

金屬有機化合物化學氣相沉積裝置是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2014年10月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：金屬有機化合物化學氣相沉積裝置
• 產地：德國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2014年10月8日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

啟動機械泵和羅茨泵後真空室內低真空在20min內壓強低於5Pa。

主要功能

各種光學薄膜元件的製備。