電漿化學氣相澱積系統

電漿化學氣相澱積系統是一種用於材料科學、能源科學技術領域的工藝試驗儀器，於2014年02月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：電漿化學氣相澱積系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學、能源科學技術
• 啟用日期：2014年02月28日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

反應室數量為雙室，極限真空為2.0×10-5Pa（環境濕度≤55%），最大樣品尺寸為φ300mm，澱積不均勻性為≤±5％（φ10吋範圍內）≤±7％（φ12吋範圍內）。

主要功能

本系統為計算機控制的雙室PECVD系統，可製備SiO2、Si3N4、非晶矽、微晶矽等薄膜材料，兩室間實現機械臂傳輸樣品。