多腔體電漿增強化學氣相沉積

多腔體電漿增強化學氣相沉積是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2012年11月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：多腔體電漿增強化學氣相沉積
• 產地：英國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2012年11月15日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 化工、製藥工藝實驗設備 > 化學反應工藝實驗設備

技術指標

襯底尺寸:6*6英寸,3個工藝腔體，不均勻性3.96%。

主要功能

鍍膜。