電漿化學氣相澱積台

電漿化學氣相澱積台是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2010年08月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：電漿化學氣相澱積台
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2010年08月15日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 化工、製藥工藝實驗設備 > 化學反應工藝實驗設備

技術指標

極限真空:反應室8.0*10-5Pa,進樣取樣室5.0*10-1Pa；澱積速率:200-500？/min；澱積均勻性:≤±4%；樣品尺寸:400mm*500mm；裝片量1片；電極加熱:室溫~350℃(精度±0.5℃)；壓力調節範圍:0.1Pa~100Pa；四路氣體進氣。

主要功能

沉積薄膜、材料製備、清洗。