電子束熱蒸發系統

電子束熱蒸發系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年6月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子束熱蒸發系統
• 產地：中國台灣
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年6月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

10min內真空達到5E-3Torr；30nm鍍膜非均勻度＜3%。

主要功能

電子束鍍膜和電阻式熱蒸發鍍膜。