直槍電子束物理氣相沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年11月25日啟用。
基本介紹
- 中文名：直槍電子束物理氣相沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2014年11月25日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備 > 電加工工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
真空室技術指標： 1、尺寸：600*600*650 2、材料：SUS304不鏽鋼 3、結構：箱式前開門 4、冷卻方式：殼體水冷 5、帶觀察窗，並且觀察窗帶護目鏡 6、禁止板1套，採用304不鏽鋼材料製造，方便拆卸、互換 7、加熱方式：採用上烘烤方式 蒸發源：直式電子槍，額定功率40kw（20kV,2A） 偏壓電源：DC: 0至-100V,200W。
主要功能
採用電子束激發金屬靶材，獲得單層或多層金屬薄膜。
